如何对电子厂净化工程洁净度进行检测
2022-04-21

在对车间进行洁净度检测时,检测电子厂净化工程洁净度方法,赶紧来阅读!

一、检测仪器的选择

对于无尘净化车间洁净度的测量,可以使用净化工程光散射粒子计数器、凝聚核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜。由于这种粒子计数器可以自动、连续、及时地测量使用中室内空气的含尘量,并能直接显示瞬时含尘浓度,因此还可以测量不同粒径的含尘浓度。简单、方便、及时、灵活。

2、检测点

根据标准,检测净化车间洁净度时,检测点应在距室内地面水平面1.00m以内;单向流式无尘净化车间,测点总数不应少于20个,测点间距为0.5 -2.0m。水平单向流量测点仅无布置;非单向流式无尘净化车间按无尘净化车间面积小于等于50m2布置5个测点。

3、关于等速采样

等速采样是指在检测过程中,粒子计数器的采样管入口方向与被采样单向气流的方向一致,进入采样管入口的空气平均流速与该位置单向气流的平均速度。

因为净化工程的检测主要关注两种粒径,即0.5um和5um。等速采样对≤0.5um的颗粒影响不大。如果采样空气用于计算大于或等于 0.5um 的粒径浓度,如果这些粒子不受等速条件的影响,则计算结果不受影响。因此洁净室区域非等速采样只对大于等于0.5um的颗粒有意义。

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